TGA-327高精度痕量氣體分析儀
高精度痕量氣體分析儀(TGA-327)是一款專為半導體行業空氣分子汙染分析(AMC)測量氟化氫(HF)而設計的專業儀器₪•,採用光腔衰蕩光譜技術(CRDS)₪•,具有超高的靈敏度₪•,其檢測下限可達ppt級別◕₪•↟。不需要現場校準₪•,非常適合連續測量◕₪•↟。
該分析儀內部管路都進行了特殊塗層₪•,可以有效的減小氟化氫(HF)分子在管道壁上的吸附₪•,加速測量的響應時間並消除測量偏差◕₪•↟。同時分析儀採 用小體積腔設計₪•,能夠進一步提升測量速度◕₪•↟。
光腔衰蕩光譜(CRDS)與離子遷移譜(IMS)和離子色譜傳統技術相比₪•,具有探測下限低◕◕↟₪·、響應時間快◕◕↟₪·、無需耗材等顯著優勢₪•,該分析儀具有更優的長期穩定性和低維護性₪•,是半導體行業AMC連續監測的理想選擇◕₪•↟。
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