TGA-327高精度痕量氣體分析儀
高精度痕量氣體分析儀(TGA-327)是一款專為半導體行業空氣分子汙染分析(AMC)測量氟化氫(HF)而設計的專業儀器│↟,採用光腔衰蕩光譜技術(CRDS)│↟,具有超高的靈敏度│↟,其檢測下限可達ppt級別◕·。不需要現場校準│↟,非常適合連續測量◕·。
該分析儀內部管路都進行了特殊塗層│↟,可以有效的減小氟化氫(HF)分子在管道壁上的吸附│↟,加速測量的響應時間並消除測量偏差◕·。同時分析儀採 用小體積腔設計│↟,能夠進一步提升測量速度◕·。
光腔衰蕩光譜(CRDS)與離子遷移譜(IMS)和離子色譜傳統技術相比│↟,具有探測下限低✘₪✘✘、響應時間快✘₪✘✘、無需耗材等顯著優勢│↟,該分析儀具有更優的長期穩定性和低維護性│↟,是半導體行業AMC連續監測的理想選擇◕·。
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